一种晶圆吸附装置

一种晶圆吸附装置

专利授权实用新型江苏省

申请进度

  1. 申请
  2. 授权
  3. 预计到期未提供

基本信息

一种晶圆吸附装置的公开专利资料
申请号CN202421914511.X申请日2024-08-08
授权公告号CN222914774U授权公告日2025-05-27
专利类型实用新型受理局—
当前法律状态待核验授权记录专利授权
申请(专利权)人江苏瑞芯微电子有限公司发明人/设计人毛雯琪;刘扬扬;王磊;王菲菲
地址江苏省扬州市高邮经济开发区波司登大道南侧3号发明人:毛雯琪;刘扬扬;王磊;王菲菲专利号:ZL202421914511.X邮编225699
代理机构深圳市共赋知识产权代理事务所(普通合伙)代理人—
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