一种半导体晶片质量检测装置

一种半导体晶片质量检测装置

专利授权实用新型广东省

申请进度

  1. 申请
  2. 授权
  3. 预计到期

基本信息

一种半导体晶片质量检测装置的公开专利资料
申请号CN202322489202.4申请日2023-09-13
授权公告号CN220855081U授权公告日2024-04-26
专利类型实用新型受理局—
当前法律状态待核验授权记录专利授权
申请(专利权)人深圳市宜源科技有限公司发明人/设计人张敏
地址广东省深圳市龙华区龙华街道景龙社区龙华大道3639号环智中心C座13层邮编518000
代理机构深圳市共赋知识产权代理事务所(普通合伙)代理人—
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